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真空镀膜机为何要选用工业冰水机来冷却

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真空镀膜机为何要选用工业冰水机来冷却

发布日期:2015-04-01 00:00 来源:http://www.ksydx.com 点击:

   真空镀膜机工作原理是将膜材置于真空镀膜室内,通过加热源加热使其蒸发,材在高温下蒸发后而沉积在工件表面形成被镀的膜层。最早的真空镀膜是靠蒸发体的自然散射,这样真空度不高,膜层与镀件结合力差,光泽度不好。随着技术革新,目前真空镀膜都是选择磁控溅射镀膜和离子镀。磁控溅射镀膜在工作时 是利用真空辉光放电,加速正离子使其轰击靶材表面引起的溅射现象,使靶材表面放出的粒子沉积到基片上而形成薄膜。,磁控溅射靶在发射时会产生高温使射枪变形,为了防止射枪受高温并行。真空镀膜机内有一个水套来冷却射枪。   真空镀膜机内水套的水温有一定范围要求,常年要求控制在15—25度之间。这个水温范围一般的自来水、冷却塔的冷却水常年无法满足。所以只有依靠工业冰水机提供5—30度的可调水温来进行冷却。

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